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发布日期:2022-10-21 07:47    点击次数:180

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(ChinaIT.com讯)国内某著名半导体晶圆制造企业自2020年运行在多个厂区累计插足近50台斯坦德藏匿式和复合式AMR,完了了整厂生居品流自动搬运及智能化防守黄色3级网站,使扫数坐褥智能化进程迈上一个新台阶。

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在该企业的晶圆制造车间,斯坦德凭据车间不同机台的凹凸料对接、搬运频次、晶圆特质,针对性地运筹帷幄了以复合机器人搬运晶圆盒凹凸料、E-Rack库位防守、RIoT智能调解为中枢的柔性物流治理决策。

本神气遮掩扫数晶圆制造车间,触及待加工物料与E-Rack对接、晶圆盒在各工序的凹凸料及工序规范之间的流转。

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触及到7大工序, 精品对接树立机台多,过程复杂,AMR必须精确配送物料。

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车间内空间局促,人车混行,久久久久精品A級黄色需要完了安全避障。

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晶圆易碎且认真,机器人要保险运行适当、低振。

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晶圆制造车间洁净度条款高,AMR需要知足正派净模范。

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神气遮掩氧化扩散、光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、清洗与抛光、金属化七大过程,AMR能高效、准确、生动地完成晶圆的搬运、转运及凹凸料全过程自动化。

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